مقايسه ميان حسگرهاي هيدروژني با ساختار خازني با استفاده از لايه نازك نيكل و نانوذرات پالاديم براي نمايش غلظت 1% هيدروژن

در اين مقاله دو حسگر هيدروژني با ساختار خازن فلز- اكسيد- نيمرسانا Pd/SiO2/Si و Ni/SiO2/Si ساخته شده اند. ميزان جذب و واجدب گاز هيدروژن در نانوذرات پالاديم در فشارهاي مختلف گزارش شده است. منحني هاي ظرفيت-ولتاژ براي حسگر Pd/SiO2/Si در دماي اتاق و حسگر Ni/SiO2/Si در دماي °C 140 در حضور نيتروژن خالص و 1% هيدروژن-نيتروژن بررسي شده اند. نتايج نشان مي دهند كه براي حسگر Pd/SiO2/Si مدت زمان پاسخ دهي s 1/4 و براي حسگر Ni/SiO2/Si مدت زمان پاسخ دهي s 90 مي باشد. مدت زمان برگشت پذيري براي حسگر بر اساس نانوذرات پالاديم s 14 است و براي حسگر بر اساس لايه نازك نيكل min 40 مي باشد. همچنين مقايسه ميان دو حسگر نشان مي دهد كه پاسخ دهي (R%) حسگر با ساختار نانوذرات پالاديم برابر 88% و حسگر با ساختار لايه نازك نيكل برابر 29% مي باشد.