طراحي و ساخت حسگر هيدروژني با استفاده از لايه نانومتري نيكل

ساختار فلز- اكسيد- نيمرسانا يك روش مناسب و ارزان براي نمايش غلظت گاز هيدروژن مي‌باشد كه بر اساس تغيير در تابع كار فلز، مولكول‌هاي گاز هيدروژن را آشكارسازي مي‌كند. حسگر هيدروژني با استفاده از آناليزهاي XRD و AFM مشخصه‌يابي شده‌اند. تاثير ضخامت لايه اكسيد بر زمان پاسخ‌دهي و زمان برگشت‌پذيري حسگر بررسي شده است. بيشترين پاسخ‌دهي (Response %) و كمترين زمان پاسخ‌دهي حسگر به گاز هيدروژن براي لايه اكسيد nm 28 مشاهده شد. نتايج نشان مي‌دهد كه ساختار Ni/SiO2/Si يك حسگر با سرعت پاسخ‌دهي بالا براي آشكارسازي گاز هيدروژن در غلظت 4% مي‌باشد. مقايسه حسگرهاي خازني مختلف اطلاعات مفيدي را در مورد پارامترهاي تاثيرگذار بر ساختار MOS بدست مي‌دهد.