عنوان مقاله :
تمركز پرتو الكتروني در ميدان مغناطيسي يك منبع تبخير پرتو الكتروني خميده
پديد آورندگان :
سلحشور ، مصطفي دانشگاهي صنعتي شريف - گروه پژوهشي فناوري خلأ , زواريان ، علي اصغر دانشگاهي صنعتي شريف - گروه پژوهشي فناوري خلأ , حافظي ، فاطمه دانشگاهي صنعتي شريف - گروه پژوهشي فناوري خلأ
كليدواژه :
پرتو الكترون , عدسي مغناطيسي , تبخير در خلأ
چكيده فارسي :
در اين مقاله، ابتدا لايه نشاني در خلأ با استفاده از منبع تبخير پرتو الكتروني بررسي و نقش ميدان مغناطيسي در عملكرد آن تبيين شده است. پس از آن، توزيع ميدان مغناطيسي ناشي از پيكربندي اجزاي مغناطيسي يك نمونه منبع تبخير تجاري با تفنگ پرتو الكتروني با چرخش 270 درجه (ساخت سازمان جهاد دانشگاهي صنعتي شريف)، به وسيله نرم افزار المان محدود ANSYS شبيه سازي شده است. صحت نتايج شبيه سازي از طريق مقايسه با نتيجه اندازه گيري ميدان مغناطيسي توسط كاوشگر اثر هال ارزيابي گرديد. علاوه بر اين، با استفاده از قابليت نرم افزار براي رديابي پرتو، قدرت عدسي مغناطيسي اين سامانه براي تمركز پرتو الكتروني مورد بررسي قرار گرفت. مكان پيش بيني شده براي پرتو در محل هدف، تطابق بسيار خوبي با مشاهدات تجربي دارد.
عنوان نشريه :
پژوهش فيزيك ايران
عنوان نشريه :
پژوهش فيزيك ايران
