عنوان مقاله :
بررسي تاثير شكل سوراخ هاي جرم آزمون ژيروسكوپ موج آكوستيكي توده‌اي بر فركانسي تطبيق مدهاي تحريك و حسگري
پديد آورندگان :
علامه ، محمد مهدي دانشگاه آزاد واحد تهران جنوب - دانشكده مهندسي برق , فتحي پور ، مرتضي دانشگاه تهران - دانشكده مهندسي برق وكامپيوتر - آزمايشگاه شبيه سازي و مدل سازي افزاره
كليدواژه :
تطبيق فركانس , جرم آزمون , ژيروسكوپ موج آكوستيكي توده اي BAW , سوراخكاري
چكيده فارسي :
در طراحي ژيروسكوپ موج آكوستيكي توده ايBAW عموما لازم است كه فركانس تطبيق مدهاي حسگري و تحريك بيشينه انتخاب گردند. چنين انتخابي فاكتوركيفيت ژيروسكوپ را بهبود مي بخشد. دراين مقاله تاثير شكل سوراخ هايي را كه در مرحله رها سازي جرم آزمون ژيروسكوپBAW ايجاد مي شوند بر فركانس تطبيق مدهاي حسگري و تحريك بررسي مي كنيم. ژيروسكوپ از نوع حلقه بسته فرض شده است كه بر بستر SOI ساخته مي شود. بويژه دو وضعيت براي سوراخ هاي مخروطي شكل مورد مطالعه قرار گرفته است. اگر يال هر سوراخ با بستر، زاويه داخلي منفرجه بسازد، اختلاف فركانس بين مدي كمتر و اگر زاويه داخلي حاده بسازد اختلاف فركانس بين مدي بيشتر مي شود.
عنوان نشريه :
مهندسي برق و الكترونيك ايران
عنوان نشريه :
مهندسي برق و الكترونيك ايران
