طراحي و شبيه‌سازي يك ميكروسنسور بيولوژيكي كاربردي در محيط مايع بر پايه آرايه نوسانگر مكانيكي

در اين مقاله، يك سنسور بيولوژيكي حساس به جرم با قابليت ساخت به كمك تكنولوژي ميكروالكترومكانيكي با كاربرد در محيط مايع و با قابليت به كارگيري در قطعات آزمايشگاه روي يك تراشه ، براي كاربردهاي پزشكي ارائه شده است. سنسور بيولوژيكي پيشنهادي از تزويج الكترومكانيكي المان‌هاي نوسانگر مكانيكي هارمونيك به كمك فنرهاي هارمونيك مناسب، به‌عنوان يك آرايه نوسانگر مكانيكي طراحي شده است. انتشار موج مكانيكي در راستاي اين آرايه به كمك روش الكترواستاتيكي با استفاده از يك مولد و يك سنسور بر پايه خازن هاي انگشتي انجام مي‌گيرد. ويژگي هاي مهم اين طرح هزينه ساخت كم، اتلاف كم در تداخل با محيط مايع، حساسيت بالا و سطح موثر جذب بزرگِ سنسور بيولوژيكي پيشنهادي است. ارزيابي ويژگي‌ها و عملكرد سنسور بيولوژيكي پيشنهادي از جمله حساسيت سنسور به كوچكترين ميزان جرم جذب شده و امكان اندازه گيري تغييرات خازني در خروجي آن، و اثرات ميرايي موج انتشاري در تداخل با محيط مايع به كمك نرم افزار كامسول مدل‌سازي شده است، كه بررسي نتايج، گوياي حساسيت جرمي بالا توام با امكان سنجش خروجي اين سنسور بيولوژيكي با ادوات الكترونيكي موجود شده است.