عنوان مقاله :
ساخت تراشه ميكروشاره با ميكروماشين‌كاري ليزري
پديد آورندگان :
پازكيان، هديه پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، تهران، ايران , صفايي، سارا دانشگاه علم و صنعت ايران - دانشكده فيزيك، تهران، ايران , ملاباشي، محمود پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، تهران، ايران , اميري، حسين پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، تهران، ايران
كليدواژه :
ميكروكانال , كندگي با ليزر نانو ثانيه , ليزر 2 CO
چكيده فارسي :
در اﻳﻦ ﻣﻘﺎﻟﻪ از ﻣﺎﺷﻴﻦﻛﺎري ﭘﻠﻴﻤﺮ PMMA ﺑﺎ ﻟﻴﺰر CO ﺑﻪ ﻣﻨﻈﻮر اﻳﺠﺎد ﻣﺠﺮاﻫﺎي دو ﺑﻌﺪي ﻣﻴﻜﺮو ﺑﺎ اﺑﻌﺎد ﻛﻤﺘﺮ از 500 ﻣﻴﻜﺮون( اﺳﺘﻔﺎده ﺷﺪه اﺳﺖ. ﺑﻪ ﻣﻨﻈﻮر اﻳﺠﺎد ﻛﺎﻧﺎل ﻣﻴﻜﺮو، ﻧﻤﻮﻧﻪ ﺑﺎ دو ﺷﺎرﻳﺪﮔﻲ J/cm2 44/9و 48/4 و ﺳﺮﻋﺖﻫﺎي ﭘﺎﻳﺶ ﻣﺘﻔﺎوت از ﻣﺮﺗﺒﻪ μm/s 63-500 ﺗﻮﺳﻂ ﻟﻴﺰر CO ﺗﭙﻲ 2 ﻣﻮرد ﺗﺎﺑﺶ ﻗﺮار ﮔﺮﻓﺘﻪ اﺳﺖ و در ﻣﺮاﺣﻞ ﺑﻌﺪي ﺑﺮاي ﺗﻜﻤﻴﻞ ﺗﺮاﺷﻪ ﻣﻴﻜﺮو ﺷﺎره، ﺗﺮاﺷﻪ T ﺷﻜﻞ ﺗﻮﺳﻂ ﻟﻴﺰرﻫﺎي CO ﺑﻪ ﭘﻠﻴﻤﺮ ﺟﻮش داده ﺷﺪه اﺳﺖ. ﻧﺘﺎﻳﺞ ﺣﺎﻛﻲ ازﻋﻤﻠﻜﺮد ﺑﻬﺘﺮ ﻟﻴﺰر CO ﭘﻴﻮﺳﺘﻪ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﺗﭙﻲ ﺑﺮاي اﺗﺼﺎل ﺗﺮاﺷﻪ ﻣﻴﻜﺮوﺷﺎره اﺳﺖ.
چكيده لاتين :
no abstract
عنوان نشريه :
فيزيك اتمي - مولكولي
