بررسي فرآيند پليمريزاسيون پلاسمايي براي توليد لايه سيليكاتي متخلخل

در اين تحقيق، لايه سيليكاتي فلوئوردار به روش پليمريزاسيون پلاسمايي و با استفاده از دستگاه پلاسمايي فركانس راديويي توليد شده است. به منظور كاهش ضريب شكست لايه‌ها، تخلخل‌هاي ساختاري در لايه ايجاد شد. ميزان ناخالصي، ضريب جذب اپتيكي، زبري سطح و ميزان چگالي جريان تراوشي و آستانه ميدان شكست لايه‌ها مورد بررسي قرار گرفتند. به منظور بررسي فرآيند پليمريزاسيون پلاسمايي، نوع گاز فلوئوردار و فشار كاري و همچنين قرار دادن پايه براي بسترهاي سيليكوني مورد آزمايش قرار گرفتند. حالت‌هاي پيوند شيميايي لايه‌ها و ريخت‌شناسي سطح لايه‌ها به ترتيب توسط طيف‎سنج تبديل فوريه مادون قرمز و ميكروسكوپ نيروي اتمي مورد بررسي قرار گرفت. علاوه بر اين، مطالعه ضريب شكست و ضريب جذب لايه‌ها نيز توسط دستگاه بيضي‌سنجي طيفي انجام گرفت. نتايج نشان داد لايه سيليكاتي فلوئوردار با خلوص بالا و تخلخل‌هاي ساختاري، داراي ضريب شكست فوق كم (1.17 و 1.09) و ثابت خاموشي كمتر از 410 است و افزايش فشار و همچنين قرار دادن پايه براي بستر‌ها موجب افزايش ناخالصي‌هاي آلي به ويژه پيوندهاي كربني و به موجب آن از بين رفتن تخلخل‌هاي ساختاري لايه شد كه در مجموع منجر به افزايش ضريب شكست (1.39 و 1.37) و ثابت خاموشي (0.004 و 0.0005) لايه‌ها شده‌ است.