عنوان مقاله :
مروري بر كاربرد خازن‌هاي بين انگشتي در سنسورهاي خازني
پديد آورندگان :
ورع ، زينب دانشگاه شهيد باهنر كرمان - بخش مهندسي برق، آزمايشگاه RF MEMS و بايونانوالكترونيك , مهران ، مهديه دانشگاه شهيد باهنر كرمان - بخش مهندسي برق، آزمايشگاه RF MEMS و بايونانوالكترونيك
كليدواژه :
خازن‌هاي بين انگشتي , سنسورهاي خازني , سيستم‌هاي ميكرو الكترومكانيكي
چكيده فارسي :
سنسور الماني است كه يك كميت فيزيكي را به سيگنال الكتريكي تبديل مي‌كند. سنسورهاي خازني به‌دليل عملكرد خوب، داشتن، حساسيت عالي، طراحي و ساخت آسان و... بيشتر از سنسورهاي ديگر مورد توجه قرار گرفته‌اند. با افزايش تقاضا براي يكپارچه‌سازي سيستم‌هاي الكترونيكي بر روي تراشه و نياز به كوچك‌سازي سنسورها، سنسورهاي خازني مبتني بر خازن بين انگشتي بسيار مورد توجه قرار گرفته‌اند. خازن بين انگشتي، از تعدادي زوج الكترود شانه‌اي بر روي بستر عايق تشكيل مي‌شود. اين خازن‌ها متداول‌ترين ساختار خازني مورد استفاده در حوزه سيستم‌هاي ميكرو الكترومكانيكي هستند كه ظرفيت و حساسيت آنها در مقايسه با ساير خازن‌ها به نسبت بالاتر است. مزاياي خازن‌هاي بين انگشتي، آنها را به گزينه‌اي محبوب براي كاربرد در سنسورهاي مختلف تبديل كرده است. اين مقاله به مروري بر كاربرد خازن‌هاي بين انگشتي در سنسورهاي خازني مختلف، پرداخته است.
