مدل‌سازي ميرايي در ميكرومحرك هاي‌‌ پيچشي دو محوره با درنظر گرفتن خمش تيرهاي نگهدارنده

ميكرومحرك‌هاي پيچشي در كاربردهاي متعددي از جمله سوئيچ‌هاي نوري، تصويربرداري زيست پزشكي و نورشناسي مورد استفاده قرار مي‌گيرند. ميرايي لايه هواي فشرده يكي از مكانيز مهاي اتلاف انرژي در اين ميكرومحرك‌ها مي‌باشد. اين ميرايي، يك عامل كليدي در تع يين عملكرد ديناميكي سيستم‌هاي ميكروالكترومكانيكي مي‌باشد كه به طور گسترده مورد توجه محققان قرار گرفته است. هدف از اين مقاله نيز، مدل‌سازي ميرايي لايه هواي فشرده در ميكرومحرك‌هاي پيچشي دو محوره با درنظر گرفتن اثر خمشي تيرهاي نگهدارنده مي‌باشد. بدين منظور ابتدا معادله رينولدز حاكم بر رفتار هوا حبس شده در زير ميكرومحرك نوشته و سپس با توجه به شرايط مسئله و صر فنظر از اثرات اينرسي هوا در مقايسه با اثرات لزجت، معادله رينولدز، ساده‌سازي شده است. معادله حاصل پس از بي‌بعدسازي، با استفاده از روش گسترش يافته‌ي كانتروويچ، حل شده و توزيع فشار هواي فشرده به دست آمده است. از توزيع فشار حاصله به منظور محاسبه نيرو و گشتاور ميرايي لايه هواي فشرده استفاده شده است. در ادامه، تأثير پارامترهاي طراحي ميكرومحرك دو محوره روي گشتاورهاي ميرايي بررسي شد و براي تحليل دقيق‌تر اثر اين پارامترها برروي گشتاورها و نيروي بابعد نيز مورد مطالعه قرار گرفت. از نتايج اين مقاله مي‌توان به خوبي براي مدل‌سازي دقيق ديناميك و كنترل ميكرومحرك‌هاي پيچشي استفاده كرد.