مشخصه‌يابي پوشش‌هاي سخت Me (SiCN) (فلزات واسطهMe = ) و تاثير آنها در بهبود عملكرد زيرآيند

طول عمر و كارايي تجهيزات صنعتي، عمدتاً به ساختار و نحوه عملكرد آنها در محيط‌هاي مهاجم وابسته است. به همين منظور، حفاظت از سطح تجهيزات از اهميت بالايي برخوردار است. در دهه‌‌‌هاي اخير،‌ پوشش‌هاي سخت چند‌جزئي به شدت مورد توجه جوامع علمي و صنعتي قرار گرفته است. تاكنون، انواع مختلفي از پوشش‌هاي چند جزئي بر پايه فلزات واسطه، همچون كرم، تيتانيم و فلزات واسطه ديرگداز، به طور گسترده براي استفاده به عنوان پوشش‌هاي محافظ مورد استفاده قرار گرفته‌اند. با اين حال، ديگر اجزاي تشكيل‌دهنده پوشش‌هاي بر پايه فلزات مذكور (به عنوان مثال كربن، نيتروژن و سيليكون)، ريخت‌شناسي سطح و اندازه دانه‌ها، نقش بسيار مهمي در خواص و كاربرد آنها خواهد داشت. به عنوان مثال پوشش‌هاي دو جزئي نيتريدي نمي‌توانند عملكرد خوبي در شرايط سايشي داشته باشند، در حالي‌كه پوشش‌هاي دو جزئي كاربيدي كانديد‌هاي قابل‌توجهي براي اين شرايط هستند. با اين حال، پوشش‌هاي نازك سه‌جزئي كربو نيتريد، مي‌توانند خواص مكانيكي و عملكرد سايشي و اصطكاك بهتري را نسبت به پوشش‌هاي دو جزئي ارائه دهند. از سوي ديگر، برخي از خواص پوشش‌هاي مبتني بر فلزات واسطه مانند مقاومت در برابر اكسيدشدن، تنش پسماند و عملكرد اصطكاكي را مي‌توان با دوپ‌كردن سيليكون (Si) به ميزان قابل‌توجهي بهبود بخشيد.