عنوان مقاله :
مطالعه تحولات ساختاري لايه نازك كربن آمورف انباشت شده بر آلياژ نيكل- مس با تغيير دماي انباشت و انرژي پرتوي يون
پديد آورندگان :
محقق پور ، الهام پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌اي - پژوهشكده كاربرد پرتوها , غلامي پور ، رضا سازمان پژوهش‌هاي علمي و صنعتي ايران - پژوهشكده مواد پيشرفته و انرژي‌هاي نو , رجبي ، مرجان سازمان پژوهش‌هاي علمي و صنعتي ايران - پژوهشكده مواد پيشرفته و انرژي‌هاي نو , مجتهدزاده لاريجاني ، مجيد پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌اي - پژوهشكده فيزيك و شتابگرها
كليدواژه :
لايه نازك , كربن آمورف , انرژي پرتوي يون , دماي انباشت , تحولات ساختاري , كربن شبه الماسي.
چكيده فارسي :
در تحقيق حاضر لايه نازك كربن آمورف با استفاده از روش كندوپاش پرتوي يوني بر شيشه و آلياژ نيكل مس ايجاد و همبستگي تحولات ساختاري كربن آمورف با انرژي جنبشي اتم‌هاي كربن در مرحله تشكيل پيوند با اتم‌هاي ديگر بررسي شده است. تأثير جنس زيرلايه، دماي انباشت و انرژي پرتوي يون بر تحولات ساختاري لايه‌هاي انباشت شده نيز بررسي شده است. نتايج بررسي طيف سنجي رامان نشان‌دهنده تحولات ساختاري لايه نازك كربن آمورف به‌سمت كربن شبه الماسي (DLC) با افزايش دماي انباشت تا 100 درجه سانتي‌گراد و انرژي پرتوي يون از دو به پنج كيلوالكترون ولت است. اندازه خوشه‌هاي گرافيتي با پيوند sp2 كوچك‌تر از يك نانومتر در لايه هاي كربن آمورف انباشت شده بر آلياژ نيكل مس است. نتايج محاسبه تنش پسماند با استفاده از دستگاه پراش پرتوي ايكس (XRD) نشان دهنده روند كاهشي ميزان تنش پسماند كششي لايه نازك كربن آمورف با افزايش انرژي پرتوي يون است.
عنوان نشريه :
مواد پيشرفته در مهندسي
عنوان نشريه :
مواد پيشرفته در مهندسي
