رشد منظم و عمودي نانو ميله‌هاي دي‌اكسيد تيتانيوم بر روي ميكرو آرايه‌هاي سيليكاني لايه‌نشاني‌شده با اكسيد قلع آلاييده‌شده با فلوئور به روش نبولايزر

Vertical growth of titanium dioxide nanorods on nebulizer fluorine doped tin oxide deposited on silicon microarrays

در اين مقاله، لايه‌هاي اكسيد قلع آلاييده‌ شده با فلوئور به‌عنوان الكترود و بذر رشد نانو ميله‌هاي دي‌اكسيد تيتانيوم به روش لايه‌نشاني افشانه داغ مبتني بر تكنيك نبولايزر بر روي ميكرو آرايه‌هاي سيليكان ايجاد شده‌است. لايه‌نشاني اين لايه روي لايه اكسيد قلع آلاييده‌شده با فلوئور از اهميت بالايي براي ساخت نانوژنراتورهاي مبتني بر باريم تيتانات است كه در اين مقاله از دو روش نبولايزرو و هيدروترمال استفاده شده‌است. تأثير دماي لايه‌نشاني و همچنين حجم نبولايزر در مقاومت سطحي لايه‌ها توسط دستگاه چهار پروب مورد بررسي قرار گرفته‌است و همچنين نمونه‌ها تحت يك شرايط هيدروترمال يكسان به‌منظور رشد نانوميله ها قرار گرفتند و شكل ظاهري نانوساختارها رشد كرده بر روي لايه‌هاي ساخته‌شده توسط تصاوير ميكروسكوپ الكتروني مورد بررسي قرار گرفته‌است. چسبندگي لايه‌ها در اين حوزه نيز اهميت بالايي دارد و به‌عنوان يكي از پارامترهاي مهم در فرآيند هيدروترمال مورد بررسي قرار گرفته‌است. نتايج نشان مي‌دهد كه با اين روش، نانوميله ها روي ديواره‌هاي ساختار ميكرو ماشينكاري رشد پيدا كرده‌است كه مي‌تواند باعث افزايش كيفيت ادوات مبتني براين ساختارها باشد. در اين مقاله با استفاده از روش نبولايزر به مقامت هاي سطحي پايين تا Ω/cm2 11 دست پيدا شد.

In this paper, fluorine doped tin oxide layers are created as electrodes and seeds for the growth of titanium dioxide nanorods by spray pyrolysis coating based on silicon microarrays. The coating of this layer on the fluorine-contaminated tin oxide layer is of great importance for the fabrication of nanogenerators based on barium titanate. In this paper, two methods nebulizer and hydrothermal have been used. The effect of coating temperature as well as nebulizer volume on the surface resistance of the layers has been investigated by four-point probe device. Also, the samples were subjected to identical hydrothermal conditions for the growth of nanorods and the morphology of nanostructures grown on fabricated layers by scanning electron microscope has been investigated. The adhesion of the layers is also very important in this area and has been studied as one of the important parameters in the hydrothermal process. The results show that with this method, nanorods have grown on the side walls of the micro-machining structure, which can increase the quality of devices based on these structures. In this paper, low surface authorities up to 11 Ω / cm2 were achieved using the nebulizer method.