آشنايي با ليتوگرافي و ارائه‌ روشي كاربردي براي بهينه‌سازي آن

از آنجايي كه براي انجام درست هركاري ابتدا بايد دانش و شناخت كافي از آن موضوع پيدا كنيم، ما در بخش نخست اين مقاله ابتدا به مرور بر روش‌هاي مهم و اصلي ليتوگرافي نوري و طبقه‌بندي آنها مي‌پردازيم. سپس به معرفي راه‌هاي بهبود تصاوير ايجاد شده روي فتورزيست كه بستر اصلي ليتوگرافي است پرداخته و ليتوگرافي با ذرات پر انرژي و ليتوگرافي نرم را بررسي مي‌كنيم. در بخش دوم مقاله روش فتوليتوگرافي تماسي و فرايند بهبود آن كه در آزمايشگاه ما انجام شده است، با جزئيات معرفي و شرح داده مي‌شود. از اين روش براي ليتوگرافي جهت ساخت قطعات اپتيكي پراشي روي يك بستر شيشه‌ايي آلاييده شده به نانوذرات نقره توسط يك باريكه‌ يون هليوم استفاده كرديم. جهت كاهش اثر پراش، ما روش تماسي را براي كار خود سازگاز و بهينه‌سازي كرديم. راهكار ما كه در اين مقاله ارائه شده است براي ساير پژوهشگران در ايران عملي و در دسترس است