ساخت و بهينه‌سازي حسگر رطوبتي بر پايه‌ي نانوذرات دي‌اكسيد تيتانيم

هدف از اين پژوهش، ساخت حسگر رطوبتي بر پايه نانوذرات پايدار فاز آناتاز دي اكسيد تيتانيم جهت بهبود خصوصياتي عملكردي آن همچون حساسيت، زمان پاسخ و بازيابي است. براي اين منظور، نانوذرات دي اكسيد تيتانيم با روش آب گرمايي سنتز شدند و سپس مشخصات ساختاري نانوساختار تهيه شده، با ميكروسكوپ الكتروني روبشي مورد بررسي قرار گرفت. نتايج نشان داد كه دي اكسيد تيتانيوم سنتزي به شكل كره هايي با ميانگين ابعاد nm 270هستند. براي تهيه حسگر رطوبتي نانوذرات تهيه شده به روش لايه نشاني تيغه اي بر روي مدار الكترود شانه اي لايه نشاني شد. يافته هاي پژوهش نشان داد كه حساسيت حسگر تهيه شده فاز آناتاز در بازه رطوبت نسبي 98-40 %، Rair/RHumidity/%RH 12/81 است كه در مقايسه با نمونه ايده آل پيشين كه مبتني بر فاز روتيل و آناتاز است 14درصد بهبود يافته است. همچنين، زمان پاسخ و بازگشت اين حسگر به ترتيب 2 و 4/5 ثانيه اندازه گيري شد كه نسبت به نمونه هاي پيشين به ترتيب بهبود 14 و 7 برابري داشت.