عنوان مقاله :
ساخت و مطالعه ويژگي‌هاي موجبر صفحه‌اي بر پايه پليمرSU-8 با زيرلايههاي متفاوت
پديد آورندگان :
زارع ، سميه سازمان انرژي اتمي - پژوهشكده فوتونيك و فناوري‌هاي كوانتومي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌اي , حسيني ، زهراسادات سازمان انرژي اتمي - پژوهشكده فوتونيك و فناوري‌هاي كوانتومي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌اي,
كليدواژه :
موجبر صفحه‌اي , پليمر SU-8 , زيرلايه , ضريب شكست موثر
چكيده فارسي :
در اين كار، موجبرهاي صفحه‌اي حاصل از لايه نشاني پليمر SU-8 بر روي دو زيرلايه PET و كوارتز بررسي مي‌شوند. معادله‌هاي ماكسول را براي موجبرهاي طراحي شده حل مي‌كنيم تا معادله‌هاي مشخصه حاصل شوند. از حل اين معادله‌ها، حداقل ضخامت لازم SU-8 براي عملكرد به عنوان موجبر تعيين مي‌گردد. سپس موجبرها ساخته شده و با دستگاه‌هاي پروفايلومتري و طيف سنجي UV-Vis-IR مشخصه يابي مي‌شوند. مشاهده مي شود كه پليمر SU-8 عبور نوري مطلوبي از خود نشان مي‌دهد و در قالب موجبري با زيرلايه PET عملكرد بهتري دارد. در ادامه براي تعيين ضريب شكست موثر موجبر و نحوه انتشار موج از روش المان محدود استفاده مي‌شود. نتايج شبيه سازي نشان مي دهند كه پديده بازتاب كلي كه شرط اساسي موجبري است در افزاره PET/SU-8 نسبت به Quartz/SU-8 بهتر رخ مي دهد. بنابراين انعطاف پذيري و مقرون به صرفه بودن PET آن را جايگزين مناسبي براي زيرلايههاي جامد متداول مانند كوارتز مي سازد.
عنوان نشريه :
فيزيك كاربردي
عنوان نشريه :
فيزيك كاربردي
