طراحي و ساخت دستگاه توليد پلاسما به روش تخليه سد دي‌الكتريك سطحي (SDBD) در مقياس آزمايشگاهي

در اين مقاله، هدف طراحي و ساخت دستگاه توليد پلاسما به روش تخليه سد دي الكتريك سطحي(SDBD) در مقياس آزمايشگاهي به منظور توليد لايه اي از پلاسماي فشار اتمسفري پايدار و يكنواخت است. بدين منظور الكترود مسي با ضخامت 100 ميكرون با ساختار شانه اي براي اين سامانه طراحي و ساخته شد و براي ساخت دي الكتريك نيز از ورقه ميكا با ضخامت 5/0 ميلي متر با ابعاد 10×10 سانتي متر استفاده شد. با توجه به داده هاي تجربي و محاسبات تحليلي براي اندازه گيري توان مصرفي سامانه SDBD ساخته شده، در شرايط كاري ولتاژ 7 كيلوولت و فركانس 5/12 كيلوهرتز، توان مصرفي اين سامانه برابر با 50 وات محاسبه شد. همچنين، با استفاده از طيف سنجي نشر نوري، طيف بدست آمده از پلاسما مورد بررسي قرار گرفت. با توجه به توليد پلاسماي پايدار و يكنواخت ايجادشده بر روي سطح دي الكتريك و توان مصرفي اندازه‌ گيري ‌شده قابل قبول، اين سامانه توانايي استفاده در علوم و صنايع  مختلف از جمله صنايع پردازش سطوح را خواهد داشت.