تاثير زمان لايه نشاني بر خواص ساختاري و فيزيكي پوشش هاي كربني لايه نشاني شده با روش كندوپاش مگنتروني

تاثير زمان لايه نشاني بر خواص ساختاري و فيزيكي پوشش هاي كربني لايه نشاني شده با روش كندوپاش مگنتروني

امروزه پوشش هاي كربني، براي كاربردهاي تريبولوژيكي و سايش، الكترونيك، مواد زيستي و پيل هاي سوختي مورد استفاده قرار گرفته است. در اين تحقيق كه تلاش شده است خواص پوشش هاي كربني لايه نشاني شده بر روي سطح فولاد زنگ نزن L316 با روش رسوب فيزيكي فاز بخار كندوپاش مگنتروني، مورد بررسي قرار بگيرد، به جز زمان لايه نشاني ساير پارامترهاي لايه نشاني ثابت در نظر گرفته شده است. نتايج به دست آمده نشان داد كه پوشش هاي كربني ايجاد شده ساختار آمورف تا نانوبلوري دارند. با افزايش زمان لايه نشاني اندازه خوشه هاي گرافيتي در زمان هاي طولاني به دليل پديده چيدمان مجدد و برخورد ذرات پر انرژي كاهش مي يابد. بر اساس مدل نواحي ساختاري (SZM) و تصاوير AFM ساختار پوشش هاي كربني در ناحيه يك يا ستوني قرار دارد. همچنين با افزايش زمان لايه نشاني، مقاومت الكتريكي سطحي به شدت زياد مي شود كه احتمالاً ناشي از وجود تنش هاي ذاتي فشاري است كه تحرك ناقل هاي الكتريكي را كاهش مي دهد. تاثير زمان لايه نشاني بر روي خواص خوردگي پوشش هاي كربني كم و يا قابل چشم پوشي است.