اندازه گيري ارتعاشات در ميز هاي هوايي ماشين هاي فوق دقيق با تعداد حوضچه هاي متفاوت

اندازه گيري ارتعاشات در ميز هاي هوايي ماشين هاي فوق دقيق با تعداد حوضچه هاي متفاوت

ارتعاشات در ميز هاي هوايي ماشين هاي فوق دقيق مانع تحقق دقت هاي در حد نانو مي گردد. انواع ارتعاشات داخلي ، ريز لرزه ها و چكش هوايي ، و عوامل بوجود آورنده آنها در مقاله حاضر بررسي مي شوند. و براي كاهش تاثير آنها پيشنهاد هايي ارايه مي گردد. در اين مقاله همچنين به آزمايشات ارتعاشي بر روي ميز هاي هوايي ساخته شده با تعداد حوضچه هاي هوايي متفاوت نيز پرداخته شده است. فشار هاي بحراني، تحليل ارتعاشات خود تحريك و پيش بيني رفتار نقاط مختلف ميز (كه ممكن است بر آن ابزار يا قطعه كار بسته شود) توسط داده هاي مختلف ارتعاشي، از نتايج آزمايشات است.

Vibration in the air slide tables of ultra precision machines prevents gaining accuracies within nanometer level. In this work, dissimilar types of internal vibration including small vibrations and pneumatic hammers have been tested and some measures have been offered to reduce their effects. This paper has also proceeded to the vibration tests on the air slide tables built with different number of air cell (air pocket). Comparison in critical pressures, self-excited vibration analysis, and predicting the behavior of contrastive points of the table (that a tool or a work piece might get installed on it) are the results of experiments by different variations of air pressures.