ساخت نانو ذرات هسته-پوسته اي مس- نيكل با رسوب همزمان بخارشيمياييوكند وپاش پلاسماي امواج راديويي

Fabrication of Cu-Ni core-shell nanoparticles by co-deposition of RF-PECVD and RF-Sputtering

هدف از اين تحقيق ساخت نانوذرات مس- نيكل با اندازه هاي مختلف، به منظور بررسي خواص كاتاليستي، مغناطيسي و حسگري اين نانوذرات مي باشد. بنابراين نانو ذرات هسته-پوسته اي مس- نيكل در بستر لايه نازك كربني به روش همزمان انباشت بخار شيميايي و كند وپاش پلاسماي امواج راديويي از هدف مس و نيكل در محيط گاز استيلن ساخته شد. ابتدا نانو ذرات مس در بستر كربني آماده شدند. سپس لايه نيكل با ضخامت هاي مختلف روي آن ساخته شد. ساختار كريستالي و توپوگرافي سطح به ترتيب توسط آناليزهاي طيف پراش اشعه ايكس (XRD ) و ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM ) بررسي شد. آناليز XRD بر تشكيل نانو ساختار مس، اكسيد مس، نيكل و اكسيد نيكل دلالت دارد. اندازه نانو ذرات مس به دست آمده از روابط شرر و ويليام سون با استفاده از نتايج XRD مقايسه شدند. نتايج تخميني ويليام سون با اندازه نانو ذرات در تصاوير AFM همخواني خوبي دارد.

Abstract In this research we fabricated different Cu-Ni nanoparticles in order to investigate their catalytical, magnetic and sensitivity of properties. Cu-Ni core-shell nanoparticles on carbon thin films were prepared by co-deposition of RF-sputtering and RF-PECVD. Samples containing Cu nanoparticle were grown on carbon substrate in attendance acetylene and then Ni layers with different thicknesses were grown over these Cu nanoparticles. Topography and atomic structure were investigated by atomic force microscopy (AFM) and X-ray diffraction (XRD), respectively. XRD showed that Cu core nanocrystal and Ni shell nanocrystal were formed on these films. Average particle size of Cu nanoparticles that was estimated by Scherre and Wiliam-son formola were compared. AFM image had a good agreement with William-son results.