رشد و بررسي خواص ساختاري و الكتريكي لايه‌هاي نازك Pb‌ الكتروانباشت شده بر روي زيرلايه‌هاي Au و Cu

Growth, Structural and Electrical Characterization of Electrodeposited Pb Thin Films, Grown on Cu and Au Substrates

در اين تحقيق لايه‌هاي نازك Pb با ضخامت‌هاي مختلف به روش الكتروانباشت تك حمام و با استفاده از سه الكترود بر روي زيرلايه‌هاي مس و طلا تهيه شدند. براي به دست آوردن ولتاژ مناسب انباشت از مطالعه ولتامتر چرخه‌اي استفاده شد. ضخامت لايه‌هاي انباشت شده با استفاده از دستگاه Dektak3 اندازه‌گيري شد. نانوساختار اين لايه‌ها با استفاده از ميكروسكوپ الكتروني روبشي و الگوي پراش اشعه ايكس مورد مطالعه قرار گرفت. بستگي مقاومت الكتريكي به ضخامت لايه‌هاي نازك سرب با استفاده از دستگاه چهارسوزنه در آرايش وان در پايو بررسي شده است.

In this work, Pb thin films were electrodeposited from an electrolyte containing Pb+2 ions. In order to obtain an optimum electrochemical condition and deposition voltage, cyclic voltammetery was performed on the electrochemical cell. The thickness of the Pb films was measured using Dektak3 instrument, and a good agreement was achieved between the calculated and the real thickness. Structural characterization of Pb was performed using XRD and SEM techniques. The sheet resistance was measured at different film thicknesses using four- point probe in van der Pauw geometry