طراحي وساخت حسگراكسيد قلع با حساسيت بالا به روش سل ژل وتكنيك لايه نشاني چرخشي

Fabrication of Tin Oxide Gas-Sensor by Sol Gel Method and Rotary Deposition Technique

در اين مقاله مراحل ساخت حسگر گاز اكسيد قلع با روش سل ژل به كمك دستگاه spinner در دماي گزارش شده است. براي ساخت لايه هاي نازك اكسيد قلع از و براي لايه نشاني از شيشه به عنوان پايه استفاده شده است. عمل spin-coating با استفاده از دستگاه spinner و با سرعتهاي مختلف، لايه هايي با ضخامت هاي مختلف را نتيجه داده است، پس از ساخت حسگرها تغييرات مقاومت الكتريكي آنها بر حسب سرعت دستگاه و همچنين تغييرات حساسيت با سرعتهاي مختلف spinner، براي گاز بررسي و منحني هاي اين تغييرات ترسيم گرديد. در اين تحقيق آزمايشگاهي پس از تحليل و مطالعه اعداد بد ست آمده و مقايسه آنها با يكديگر، حساسيت بالا و خلوص خيلي خوبي براي نمونه هاي ساخته شده بدست آمد. همچنين يك سرعت بهينه ( rpm1500) براي دستگاه spinner ثبت شده است.

In this paper, fabrication steps of a gas sensor based on the Sol-Gel method and spin-coating technique is reported for smoke detection. A system called" Spinner" at temperature 4000C is employed to deposit a thinner sensitive sensor. To fabricate a thin layer of "Tin Oxide", lean Decoloured is deposited, and glass as the base substrate is used. A process called “spin Coating “several times are tried on the “Spinner “to find an optimal speed of fabrication. The thickness of layers depends on the speed of spinner, consequently different thicknesses of layers according to different types of the spinner speed can be fabricated. After the production of varied sensors, the electrical resistance and sensitivity graphs according to the spinner speed is presented in the response of different temperatures for gas. Our research after analyzing the obtained data and comparing them together indicate that, the suitable sensitivity of the samples can be achieved by the Sol-Gel technique.