بررسي تغييرات ريزساختاري پوشش هاي نانوساختار سخت با تغيير تركيب شيميايي آنها با استفاده از ميكروسكوپ هاي الكتروني روبشي و عبوري

Survey on Microstructural Change of Hard Nanostructured with Change of the Chemical Composition using Scanning and Transmission Electron Microscopy

نتايج تحقيقات مختلف نشان داده است كه رابطه‌اي قوي بين ريزساختار يك پوشش و خواص مكانيكي، الكتريكي و نوري آن وجود دارد. بررسي دقيق ريزساختار يك پوشش، به ميكروسكوپ‌هاي الكتروني نياز دارد كه قدرت تشخيص آنها در محدوده نانو و يا حتي كوچك‌تر از آن باشد. هدف از استفاده ميكروسكوپ‌هاي الكتروني در علم مواد، يافتن رابطه ي بين ريزساختار و خواص مختلف مواد است. در مقاله حاضر اصول كاركرد و روش تهيه نمونه مناسب براي ميكروسكوپ‌هاي الكتروني با تمركز بر ميكروسكوپ الكتروني عبوري، به عنوان روشي مفيد جهت ارزيابي ريزساختار پوشش‌هاي نانوساختار مورد بحث قرار خواهد گرفت. در انتها به منظور درك بهتر روش‌هاي استفاده از ميكروسكوپ‌هاي الكتروني در شناخت ريزساختاري پوشش‌هاي نانوساختار، تغييرات ريزساختاري پوششهاي CrAlN و نانوكامپوزيتي TiAlN/aC با تغيير تركيب شيميايي آنها با استفاده از ميكروسكوپ‌هاي الكتروني مورد بررسي قرار گرفته است.

The results of different studies showed that there is a strong relation between microstructure and mechanical, electrical and optical properties of coatings. For microstructural studies of nanostructured coatings we need electron microscopies that can work and detect in nano scale or even less. The purpose of using electron microscopy is finding the relationship between microstructure and different properties of coatings. In current paper working principles and sample preparation method for electron microscopy observation with focus on transmission electron microscopy as an effective way for microstructure analysis of nanostructured coatings is discussed. Finally, in order to give better understanding of using electron microscopies in microstructural analysis of nanostructured coatings, microstructural change of CrAlN and TiAlN/aC coatings with chemical composition studied using electron microscopy instruments.