طراحي و ساخت مگنترون استوانه اي به منظور توليد پلاسما و لايه گذاري در محيط آن

داورپناه ، عبدالمحمود نويسنده دانشگاه سيستان و بلوچستان- دانشكده علوم- گروه فيزيك- استاديار ,