لايه‌نشاني و بررسي خواص لايه نازك كربن شبه الماسي اعمال شده بر پنجره مادون قرمز سيليكوني

پنجره ­هاي مادون قرمز به عنوان محافظ سامانه ­هاي الكترواپتيك در صنايع هوايي و فضايي مورد استفاده قرار مي ­گيرند. با اين حال اين پنجره ­ها تحت تاثير شرايط نامساعد محيطي قرار گرفته و در نتيجه عملكرد سامانه ­هاي الكترواپتيك نيز دچار اختلال مي­ شود. اعمال پوشش ­هاي محافظ بر پنجره ­هاي مادون قرمز باعث افزايش عملكرد اين پنجره ها خواهد شد. در اين تحقيق لايه نازك كربن شبه الماسي با استفاده از دو گاز هيدروژن و متان به روش رسوب شيميايي بخار تقويت شده به كمك پلاسما با منبع تغذيه فركانس راديويي(RF-PECVD) بر سطح پنجره ­هاي مادون­ قرمز سيليكوني اعمال گرديد. ارزيابي ساختاري پوشش با استفاده از آناليز پراش­ سنجي پرتوايكس و طيف­ سنجي رامان صورت گرفت. به منظور تعيين ضريب شكست لايه نازك كربن شبه الماسي روش بيضي­ سنجي مورد استفاده قرار گرفت. طيف بازتاب نمونه­ ها با استفاده از دستگاهUV-Vis-NIR recording spectrophotometer و همچنين براي اندازه­ گيري طيف عبور از روش طيف­ سنجي تبديل فوريه مادون­ قرمز استفاده شد. تست سايش ملايم و شديد نيز با هدف بررسي مقاومت سايشي پوشش صورت گرفت. نتايج نشان داد با اعمال لايه نازك كربن شبه الماسي ميزان عبور بستره ­هاي سيليكوني افزايش يافته است. همچنين نتايج تست سايش نشان داد كربن شبه الماسي با ضخامتnm 540 در برابر سايش ملايم و شديد مقاوم بوده و عبور نمونه ­ها در اثر سايش كاهش نيافته است.