اندازه‌گيري ميزان صافي سطح زبر با استفاده از حسگر خازني

Measuring Flatness of a Rough Surface using a Capacitor Probe

توپوگرافي و اندازه‌گيري صافي سطح زبر با استفاده از اندازه‌گيري ليزر اينترفرومتري ميكروسكوپ زيگو1 ناممكن است. به‌دليل دقت بالا و همچنين مدت زمان كوتاه اندازه‌گيري، استفاده از روش خازني براي اندازه‌گيري توپوگرافي و صافي سطح زبر از جنس كوارتز پيشنهاد مي‌شود. با استفاده از اين روش مي‌توان نقشه خطا را براي فرايند‌هاي اصلاح خطاي شكل، مانند پوليش‌كاري با كنترل كامپيوتري(CCP) ، پرداخت با ذرات ساينده مغناطيسي(MRF) ، روش جت سيال ساينده و اصلاح به‌روش يوني، ايجاد كرد. در اين تحقيق توپوگرافي خطاي شكل سطح زبر به‌كمك حسگر خازني اندازه‌گيري و قطعه موردنظر با استفاده از روش غبار سيال ساينده اصلاح خطا شد و ايده اصلاح خطاي شكل سطح زبر به واقعيت پيوست. مشخص شد كه در ميان روشهاي اندازه‌گيري ميانگين - مساحت، روش اندازه‌گيري خازني، توانايي اندازه‌گيري و تحقق ايده اصلاح خطاي شكل، سطح زبر را دارد. اندازه‌گيري صافي سطح قطعه‌اي كه زبري Rc آن در حدود صافي سطح قطعه است يكي از ويژگي‌هاي منحصر به‌فرد روش ارائه شده است.

Measuring topography and flatness of nontransparent rough surfaces using a laser interferometer topography measuring (Zygo) machine is impossible. Due to high accuracy and short measuring time, capacitor probe is a good candidate for measuring topography and flatness of a rough surface. Measuring by a capacitor probe is an average area measuring method and it is suitable for measurment of machinment processes such as ion or blast figure correction, computer control polishing (CCP) and magnetorheological finishing (MRF) methods. The idea of a rough surface which directly can be used for corrective figuring is generated by measuring flatness and waviness of it through a capacitive probe. Among the area averaging methods, the surface capacitance method can be used to elaborate the idea of corrective figuring of a rough surface. Measuring flatness of a rough surface whose roughness (Ra) is in the range of out of flatness is another technical property of the presented method. Keywords: Surface Metrology, Capacitance Measurement, Figure Correcting, Precision Machining.